NTEGRA Aura
Сканирующий зондовый микроскоп для проведения экспериментов на воздухе, в условиях контролируемой атмосферы, в условиях низкого вакуума.
Применение
- Материаловедение: электрические, магнитные и механические свойства
- Химически чувствительные образцы
- Полимеры и тонкие органические плёнки
- Наноматериалы и наноструктуры
Специализация
- Однопроходные и многопроходные методики
- Измерение слабых сил (электрических, магнитных, механических, т.д.)
- Высокая чувствительность и точность измерений
- Контролируемая атмосфера, низкий вакуум
NTEGRA Aura – это сканирующий зондовый микроскоп для проведения экспериментов на воздухе, в условиях контролируемой атмосферы, в условиях низкого вакуума; идеально подходит как для однопроходных, так и для многопроходных методик и измерения слабых сил (электрических, магнитных, механических и т.д.).
В вакууме повышается добротность колебаний кантилевера, а значит, увеличивается чувствительность при измерении слабых сил между зондом и образцом. При этом переход от атмосферного давления к вакууму 10-2 Торр обеспечивает почти десятикратное возрастание добротности; для этого требуется всего несколько минут работы системы откачки. При дальнейшем увеличении вакуума значение добротности быстро выходит на плато.
Технические характеристики
| Тип сканирования | образцом | зондом* | |
| Размер образца | до 40 мм в диаметре до 15 мм по высоте | до 100 мм в диаметре до 15 мм по высоте | |
| Вес образца | до 100 г | до 300 г | |
| Позиционирование образца | 5×5 мм | ||
| Точность хода подвинки образца при позиционировании | 5 мкм | ||
| Диапазон сканирования | 100x100x10 мкм до 200x200x20 мкм (в режиме DualScan) | ||
| Нелинейность по XY (с датчиками обратной связи) | ≤ 0.1% | ≤ 0.15% | |
| Среднеквадратичный шум (RMS) по координате Z в полосе 1000 Гц | С датчиками | 0.04 нм (обычно), ≤0.06 нм | 0.06 нм (обычно), ≤0.07 нм |
| Без датчиков | 0.03 нм | 0.05 нм | |
| Оптическая видеосистема | Оптическое разрешение | 1 мкм | 3 мкм |
| Поле зрения min | 0.4×0.3 мм | 0.5x0.4 мм | |
| Поле зрения max | 4.9×3.7 мм | 6.5x4.9 мм | |
| Непрерывное приближение | доступно | ||
| Контроль окружающей среды | контроль влажности воздуха измерения в газовой атмосфере измерения в вакууме | ||
| Вакуумная система | Давление | 10-2 Торр | |
| Измерения в электрохимической ячейке** | доступно | ||
| Виброизоляция | Активная | 0.6-200 Гц | |
| Пассивная | более 200 Гц | ||
* Сканирующая головка может быть использована в качестве самостоятельного СЗМ для проведения измерений на больших образцах; ** опция.
Возможности и ключевые особенности
Эксперименты в контролируемой среде
NTEGRA Aura предназначена для проведения экспериментов в условиях низкого вакуума и контролируемой атмосферы.
Многофункциональность
NTEGRA Aura реализует более 40 измерительных методик сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ), включая спектроскопию и литографию, и является идеальным инструментом для всестороннего исследования физических свойств поверхности.
Измерения слабых сил
В вакууме добротность кантилевера увеличивается, поэтому чувствительность при измерениях слабых сил взаимодействия между зондом и образцом также возрастает, что важно при работе в бесконтактных режимах. Таких как магнитно-силовая микроскопия, электростатическая силовая микроскопия и сканирующая емкостная микроскопия. При этом переход от атмосферного давления к вакууму 10-2 Торр обеспечивает десятикратное увеличение добротности.
Точность и воспроизводимость
NTEGRA Aura оснащена встроенными емкостными датчиками обратной связи по всем трём осям X, Y, Z. Такая схема работы позволяет контролировать фактическое перемещение сканера и компенсирует нелинейность пьезокерамики, гистерезис и крип, при этом обеспечивая очень низкий уровень шума.
Модульная конструкция
NTEGRA разработана по принципу открытой архитектуры аппаратного и программного обеспечения. Различные совместимые компоненты можно использовать методом «plug&play». Приборы линейки NTEGRA могут быть оснащены функциональными блоками для проведения измерений в жидкости, для ближнепольной оптической микроскопии, спектроскопии комбинационного рассеяния и др.